beat365中国在线体育清华大学宣布突破大功率EUV光源ASML难以入眠了

　　beat365中国在线体育清华大学宣布突破大功率EUV光源ASML难以入眠了最新一期《自然》杂志，报道了清华大学国际合作团队的一种新型粒子加速器光源稳态微束的首个原理验证实验，这种新型光源整合技术，展示了同步辐射光源与自由电子激光两种主要加速器光源结合后的特性beat365中国在线体育，或可用于实现大功率EUV光源。

　　当前EUV光刻机被荷兰ASML垄断，清华大学研发团队研制的新型光源，可以弥补我国EUV技术的短板，团队也在积极推动EUV光源的项目进展。虽然光刻机的复杂度比航空发动机更高，特别是EUV光刻机目前是集合了美国德国日本法国等很多西方发达国家的顶尖科技才发展起来的，但是初代光刻机起源于美国发展于美国日本，集大成者于荷兰ASMl(分立于飞利浦)。

　　但是现在仍然在大面积应用的ASMl的193nmArfi浸没式Duv光刻机，最好可以实现7nm工艺beat365中国在线体育，足够绝大多数电子设备集成电路芯片制造，我们已经有10个单位公司科研院所在攻克了，我的看法快2021年就会有进展，慢2年内就会有大进展。

　　虽然清华大学这项备受关注的技术，现在只是原理验证成功，刚刚起步，还要面对其他各种光源的竞争，如何能够早日实用化，和产业链上下游相结合，通过市场的验证，才是我们真正值得期待的beat365中国在线体育。